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检测项点有Z轴直线度(在Y方向)、Y轴直线度(在Z方向)。将方尺放置在Y-Z面上,将跳动检测表固定在主轴上,然后使主轴沿Z轴方向运动,跳动检测表沿Z轴方向从方尺一端移动到另一端。记录表上的跳动数值。即Z轴的直线度,如图1。
以此类推,测量Y轴直线度(在Z方向)。测量完Y-Z方向的Y轴和Z轴的直线度之后,则可以判断两轴之间的垂直度。将托盘旋转到90°位置,以同样的方法测量X轴的直线度(在Y方向)和Y轴直线度(在X方向) ,然后通过比较,可测得X-Y轴的垂直度。
将托盘旋转到180°位置,以同样的方法测量Z轴的直线度(在Y方向) ,然后通过和之前测量得到Z轴直线度相比较,可测得Z轴方向的运动和托盘表面的平行度。
将托盘旋转到270°位置,以同样的方法测量X轴 的 直 线度(在Y方向) ,然后通过和之前测量得到X轴直线度相比较,可测得Z轴方向的运动和托盘表面的平行度。同样可以测量X在Z方向上的直线度和Z在X轴方向的直线度,然后得到X-Z轴的垂直度。
通过检测各轴的直线度,分析直线度的偏差,可以进一步得出任意两轴的垂直度,这是实际测量中的常用方法。