PECVD等离子增强化学沉积技术

2023-03-06 09:46:49 浏览数 (1)

纳米涂层(what)是一种功能性、柔性纳米级厚度的薄膜,具有疏水疏油特性。原理(how)在低温真空腔体内,等离子激发反应气体,在基材(被保护的PCBA)表面开启化学反应,生成纳米级厚度的网状保护膜(防泼溅、防潮、疏水、疏油,防腐蚀、防盐雾、防汗液)。气体沉积工艺保证了全面覆盖(内外,缝隙),均匀性,批量处理,牢固性

应用于连接器,手机和耳机整机及其PCBA,充电器,运动相机,电子阅读器,LED灯条和led户外屏(大幅度减轻重量),电动工具,汽车电子,电子烟,助听器,移液器、呼吸机,户外装备,无人机,智能门锁、智能马桶逆变器等 根据防护要求调整工艺参数,纳米层厚度(15~40nm)达到防溅等级(IPX1~2) ,适用于整机防护;300~2500nm隔离涂层的浸水等级(IPX4~8),适用于PCBA保护。

传统的防水方案: 一、传统的胶水:基于液体溶剂,需要预处理,烘烤和清洁,容易产生气泡和死角,涂敷不均匀,需要加热固化;大量致癌的VOC废气排放;膜厚20~50微米,需要遮蔽和去遮蔽程序,工艺复杂,散热性差;靠物理机械附着力弱。 二、派瑞林(聚对二甲苯):制备条件高(高真空,高温),成膜速率低,无法返工,膜厚影响信号,散热 三、防水剂(面料使用):含PFOA/PFOS(不环保);物理方式黏附在面料表面,结合力差,而且影响透气

实现等离子超薄纳米涂层:

需要等离子真空设备 配方药水,此设备占地面积小,一键式自动操作(产品置于设备腔体0.5~1小时左右),超安静运行。

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