8月19日上午，南湖高新区微电子产业又添一员“猛将”——由中芯国际创始人、青岛恩芯创始人张汝京主导的光罩材料产业链项目签约仪式在浙江嘉兴科技城（南湖高新区）智立方举行。
签约仪式上，项目负责人张汝京博士为大家介绍了关于光罩的“知识点”。据介绍，光罩也称为光掩模版，在IC制造过程中，其作用是将设计好的电路进行显影，将图形投影在晶圆上，利用光刻技术进行蚀刻，是半导体光刻工艺中所需的高精密工具。
据悉，该项目总投资30亿元，首期投资11亿元，将落户于南湖高新区集成电路产业园，主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造，产品包括高平整度石英基板、镀膜基板（含二元及相位移的）、保护膜等原材料。项目计划于今年9月启动，2023年4月第一条生产线试生产，2024年1月正式投产，2026年1月达产，财务机构预估达产后年产值不低于10亿元，年税收不低于1.1亿元。
“张汝京博士是世界半导体行业的资深人士，也是中国半导体行业的杰出人士，此次他带领团队在南湖高新区实施光罩材料产业链项目，将对南湖区微电子产业发展产生极大标杆引领和驱动作用。”南湖高新区管委会副主任杨玲珠表示，南湖区将提供一流营商环境，倾尽全力为项目推进保驾护航，让项目早日投产，早日达产。
“在5G、人工智能、物联网等产业快速壮大的拉动下，全球半导体市场蓬勃发展，光罩作为芯片的关键原材料，市场需求不断上升。”嘉兴立恩半导体科技有限公司项目总联络人邹才明表示，本项目的设立，旨在成为国内光罩上游材料龙头，填补国内该方面的技术空白。
不过，芯智讯查询工商资料显示，该光罩材料产业链项目实施主体——嘉兴立恩半导体科技有限公司目前尚未完成工商注册。
资料显示，张汝京2018年曾与澳柯玛合作成立了芯恩（青岛）集成电路有限公司，并主导了芯恩（青岛）集成电路项目，该项目是全国首个CIDM集成电路项目，于2018年3月在青岛西海岸新区签约，该项目总投资约150亿元，其中一期总投资约78亿元，将新建8英寸集成电路生产线一条，12英寸集成电路生产线一条，光掩膜版生产线一条，芯片测试厂一个。2019年10月28日，青岛芯恩举行了集成电路研发生产一期项目厂房封顶仪式。2019年12月27日，芯恩青岛8英寸厂第一台设备Olympus AL3120顺利搬入。2021年8月，青岛芯恩正式宣布8吋厂投片成功，投片产品为功率芯片，良率达90%以上。光罩厂也于同期完成了产品交付。
不过，根据工商资料显示，今年8月，芯恩（青岛）集成电路有限公司发生多项工商变更，法定代表人由张汝京变更为杨航军，注册资本从500000万元增加到728250万元，企业类型由有限责任公司（外商投资企业与内资合资）变更为其他有限责任公司。张汝京也不再持有股份。之前有传闻称，张汝京离开青岛芯恩之后加盟了积塔半导体。
但从此次消息来看，嘉兴立恩半导体科技有限公司将是张汝京离开青岛芯恩之后的又一个创业项目。不过该项目与青岛恩芯的业务存在部分重合，青岛恩芯也有光罩厂。显然，张汝京是希望利用之前青岛恩芯光罩厂的成功经验在嘉兴进行复制。
编辑：芯智讯-浪客剑
