JENOPTIK的“用于光子集成电路大批量晶圆级测试的光电探针卡”报告

翻电脑里面的资料，看到2020年的一篇JENOPTIK的“用于光子集成电路大批量晶圆级测试的光电探针卡”报告。

当时肯定没有仔细看~~~原因前两天给大家汇报过了：关于硅光的几点想法

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挑战——亚微米的对准

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1. 没明白Alignment loop是什么意思？

2. 光栅的硅光芯片，多通道IO，封装用的光纤阵列的每根光纤相对位置精度是不是也要求亚微米？这太难了吧。