Mach–Zehnder interferometer干涉仪:
Maach–Zehnder interferometer干涉仪的变形之一,用于测试斜入射反射中的平面表面。
Mach–Zehnder interferometer干涉仪的变形之二,Jamin interferometer干涉仪,用于测试透明物体的透射率。Jamin interferometer干涉仪是将分束器和折叠镜组合成一个元件,如图。该装置非常坚固,对元件的机械漂移不敏感,因为当引入元件的分离、偏心或小倾斜时,参考臂和测试臂会经历几乎相同的变化。
参考:Handbook of Optical Systems, Volume 5 Metrology of Optical Components and Systems
光学量测82
Handbook of Optical Systems4
光学量测 · 目录
上一篇JENOPTIK的“用于光子集成电路大批量晶圆级测试的光电探针卡”报告下一篇Mirau和Michelson干涉显微镜