现在市面上所有的光纤端面干涉仪都是Michelson式或者Mirau式。
A、为什么呢?这是实际待测产品——光纤的参数决定的,其他形式的干涉仪的横向分辨率太低,只有Michelson式或者Mirau式能满足。
B、现在待测产品除了单光纤之外,越来越多是多芯的产品,要求视野要大,这时候mirau式不能满足,只能是Michelson式
参考之前博文:
芯片测量用的几种干涉仪原理光路和特点
迈克尔逊干涉仪通过使用分束器将照明光分成两束来形成干涉条纹。下面是一个典型的迈克尔逊干涉仪的示意图。
一束光从参考镜上反射(橙色光束),另一束光则从被测物体上反射(黄色光束)。这些光束被分束器重新组合,并被成像到相机上(绿光束)。
当两个光束的重叠部分传播的距离是光波长的倍数时,它们的电场会排列成行,发生相长干涉,并看到明亮的条纹。当两个光束的重叠部分传播的距离是光波长一半的奇数倍时,它们的电场完全异相,并且发生相消干涉。
下面是平面参考镜和球形连接器端面之间出现的条纹的图像。中心的黑色圆圈是直径为125微米的光纤。——因为光纤是玻璃,它的反射率比陶瓷低,光的亮度不够,显得是黑色。