上篇文章我们介绍了Multipart Path Guard Ring(以下简称:MPP-GR)和Fluid Guard Ring(以下简称:FGR)的区别以及FGR的制作,
本篇我们将介绍如何生成FGR以及如何灵活编辑FGR。
(1)FGR的生成;
打开layout界面,菜单栏点击Create---Fluid Guard Ring…,弹出如下对话框;
可以看到在Create Guard Ring界面中,有4个选项,分别代表着画出FGR的4种方式;具体解释如下:
Wrap:表示自动生成一个围绕在器件周围的Guard Ring;
Path:表示可以生成一个路径式的Guard Ring;
Rect:表示可以生成一个矩形的Guard Ring;
Polygon:表示可以使用多边形来生成一个Guard Ring;
由于上面4种方式差别不大,这里就以Wrap方式来举例说明,其他3种读者可自己操作。
在Wrap选项中;
Technology:对应技术库名称;
Device:对应安装的Guard Ring器件,如果有安装多个,可以下拉选择;
Contact Row:代表Guard Ring中Contanct孔的排数;
Path width:代表Main Layer中选择的类型的宽度;
Rectangular与Rectilinear:表示Guard Ring是以矩形方式还是以直线的方式体现;
Wrap common:表示在对多个器件生成Guard Ring时,是生成单个Guard Ring还是多个Guard Ring,如下图;
Place at Minimum Distance Enclose by:表示生成Guard Ring与器件的距离,取消勾选可以按需求填入相关值;
在Contact Settings选项中;
Match Contact Enclosures:勾选表示OD和Metal Over Contact的距离是一样的;
在Implant Layers选项中;可以调整注入层和Well层的相关参数;
在Outer Rings 选项中;
Number of Rings:表示需要添加Ring的个数;
Tips1:在Install Guard Ring界面设置的参数在Create Guard Ring界面中可以根据需要选择性更改;
Tips2:在layout 界面下,可以在工具栏右键选择Guard Ring,这样工具栏中就出现了相关编辑图标,方便选择。
(2)介绍如何灵活编辑FGR
打开layout界面,菜单栏点击Edit---Fluid Pcell会出现对FGR的各种编辑的命令,如下图;
Chop:FGR全层切割;
Merge:合并FGR;
Convert to Polygon:转换shape type从path到polygon,方便拉伸;
Tunnel:FGR单独层或多层切割;
Heal:恢复被切割的FGR层;
Clean Overlapping Contacts:清除重合FGR上的Contacts孔;
Clean Guardring Cache:清除FGR缓存;
Tips:在layout 界面下,可以在工具栏右键选择Guard Ring,这样工具栏中就出现了相关编辑图标,方便选择。
Chop、Merge、Heal和Clean Overlapping Contacts比较简单这里不在过多介绍,读者可以自行尝试。
下面将结合视频的方式来介绍下Convert to Polygon和Tunnel命令对FGR的操作;
1、Convert to Polygon
2、Tunnel
点击Edit---Fluid Pcell—Tunnel然后按F3,出现如下对话框;
Tunnel Shap:表示切割FGR的方式;
其中Path、Rectangle、Polygon三种方式基本相同,所切FGR的层均需要手动选择;这里选择Rectangle为例说明,如下图;
Tips:需要先选中FGR,才会出现相关层。
Overlapping Shape:表示FGR与相关层重叠干涉后,切除FGR自身干涉的部分;
Use Layer-Purpose of the Shape:勾选表示FGR自身要切除的层和重叠干涉层一致,如果不勾选则需要手动选择需要切割的层;
相关视频如下:
-End-